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Industries
Halbleiter
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Herstellung von Halbleitern

Systeme für die Messung von Prozessparametern mit herausragender Präzision.

 

Unsere Systeme zeichnen sich bei der Messung von Prozessparametern durch herausragende Präzision aus und bieten hochstabile Eingänge für langfristige Regelung des Prozesses und seiner Wiederholbarkeit.

 

Die integrierte Möglichkeit, Prozesswerte über große Entfernung an Managementinformationssysteme zu übermitteln, gewährleistet darüber hinaus ein höheres Niveau der Managementkontrolle und führt dadurch zu höheren Erträgen und besserer Produktqualität.

 

Lösungen für die Halbleiterindustrie

Applikationen:

  • Diffusionsöfen

  • MBE-Maschinen

  • Kristallwachstum

  • CVD

  • MBE

  • Umweltüberwachung  

 
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